公司簡介
合肥光敏半導(dǎo)體有限公司專業(yè)研發(fā)和生產(chǎn)新一代的紫外探測、紫外LED芯片、并提供與紫外相關(guān)的技術(shù)咨詢與服務(wù)。團(tuán)隊(duì)具備強(qiáng)大的技術(shù)研發(fā)能力,有著豐富的半導(dǎo)體器件設(shè)計(jì)制造及管理經(jīng)驗(yàn),以開發(fā)性能先進(jìn)的紫外芯片為使命,實(shí)現(xiàn)我國在紫外芯片領(lǐng)域的自主創(chuàng)新。
擁有4000㎡的超凈間,多方位的微加工關(guān)鍵設(shè)備,具備器件加工、封裝、器件光電特性測試和器件穩(wěn)定性測試等一套完整的設(shè)備條件,具體研究條件如下:材料分析條件:擁有Philips高分辨XRD、變溫霍爾測試系統(tǒng)、變溫的PL測試系統(tǒng)、原子力顯微鏡、Jobin Yvon微區(qū)掃描激光拉曼譜儀、JEOL掃描電子顯微鏡(帶有EDS、CL、EBIC)和EMMI紅外掃描成像系統(tǒng)等材料和器件表征設(shè)備。
器件微加工條件:擁有整條工藝流水線,包括半導(dǎo)體微加工設(shè)備:光刻機(jī)、電子束蒸發(fā)系統(tǒng)、磁控濺射系統(tǒng)、脈沖激光濺射系統(tǒng)、反應(yīng)離子刻蝕機(jī)、PECVD介質(zhì)膜淀積系統(tǒng)、快速退火爐、點(diǎn)焊機(jī)等一套完整的器件加工設(shè)備。
器件測試條件:擁有Cascade探針臺、Keithley I-V和C-V測試儀、光譜響應(yīng)測試系統(tǒng)、噪聲頻譜測試系統(tǒng)等器件表征測試設(shè)備。